Thiết bị đo và điều chỉnh lưu lượng hơi nước - 5850EMH Brooks instrument việt nam

Thiết bị đo và điều chỉnh lưu lượng hơi nước 5850EMH Brooks instrument Việt nam
5850EMH Brooks instrument Việt nam
Brooks instrument Việt nam
5850EMH Series High Temperature Mass Flow Controllers Việt nam
Proven long-term stability. Ultra-pure performance for high temperature applications.
Models 5850EMH / 5851EMH

Tính năng, đặc điểm
Tính toàn vẹn rò rỉ cao (dưới 10-11 Pa.m3 / s (10-10 atm.cc/s) He)
Phạm vi dòng chảy rộng (0,003 - 100 slpm)
Thép không gỉ VAR 316L có độ tinh khiết cao
Không có hạt
Cổng kiểm tra rò rỉ helium
Van thường đóng (van thường mở tùy chọn)
Ghi đè van kích hoạt bằng điện
Cắt dòng lệnh thấp
Van van tương thích với chức năng TTL
Lợi ích
Nền tảng sản phẩm ổn định, đã được chứng minh
Khả năng lưu lượng cao lên tới 100 lpm ( tương đương N 2 )
Đường dẫn dòng chảy hoàn toàn bằng kim loại giúp tăng cường độ tinh khiết của khí và giảm rò rỉ
Dễ dàng cài đặt và phục vụ với đầu vào / đầu ra tương tự
Các ứng dụng
Sản xuất sợi quang - MCVD, OVD, AVD
Kiểm soát lưu lượng hơi nước 


5850EMH
5851EMH
Phạm vi dòng chảy (Công suất toàn thang)
3 sccm - 30 slm ( tương đương N 2 )
10 - 100 slm ( tương đương N 2 )
Độ chính xác
± 1% FS
± 1% FS
Lặp lại